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FE-EPMAによる相分析

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最終更新日:2025年06月02日

株式会社大同分析リサーチ
株式会社大同分析リサーチ
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FE-EPMAによる相分析により、材料中の各相の分布を可視化し、微細な相構造を明らかにすることが可能です。

電子線マイクロアナライザー(EPMA)を用いた相分析は、材料の元素濃度分布を詳細に解析し、そこから組成比を計算することで、存在する相の種類と分布を明らかにする手法です。 解析には専用ソフトウェア「フェイズマップメーカー」を活用します。EPMAで取得した元素マップデータを基に、元素のX線強度を二次元ヒストグラムとして表現した散布図を出力します。この散布図において、同じ相に属する測定点は互いに近接したクラスターを形成するため、その領域を指定することで、直感的に相の分布を示すフェイズマップを作成できます。 FE-EPMAによる相分析では、複数の異なる相を一つのフェイズマップ上に同時表示することで、各相の分布を一目で把握することができ、材料の特性や現象の原因となっている要素を迅速に解析できるため、問題解決や品質向上に貢献します。

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メイン画像_FE-EPMAを活用したスラグの相組成評価.jpg

FE-EPMAによる相分析

メイン画像_FE-EPMAを活用したスラグの相組成評価.jpg
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基本情報

電子プローブマイクロアナライザー(EPMA) JXA-iHP200F 日本電子株式会社製 ・分析元素範囲  WDS:B~U , EDS:Be~U ・X線分光範囲  WDS分光範囲:0.087~9.3nm EDSエネルギーレンジ:20keV ・X線分光器数 WDS:1~5基選択 EDS:1基 ・最大試料寸法  100mm×100mm×50mm(H) ・加速電圧    1~30kV(0.1kVステップ) ・照射電流範囲  1pA~3μA ・照射電流安定度 ±0.3%/h, ±1.0%/12h ・二次電子分解能 2.5nm ・分析条件    20nm(10kV, 10nA)  二次電子分解能 50nm(10kV, 100nA) ・走査倍率    ×40~300,000(W.D 11mm) ・走査解像度   最大5,120×3,840

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用途/実績例

FE-EPMAによる相分析は、材料の微細構造を詳細に理解するための強力なツールです。広範な分野で活用可能であり、材料開発、品質管理を強力にサポートします。お客様の製品の性能向上、不良原因の究明、そして次世代材料の開発に、FE-EPMAによる相分析をご活用ください。

企業情報

株式会社大同分析リサーチ

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大同分析リサーチは、あらゆる材料分野で蓄積してきた信頼性の高い分析・解析技術と、広範囲な業界のお客様からいただいた課題をもとに、先進シンクタンクの構築を進めてまいりました。お客様の種々な課題に対し、最少費用と最短納期で問題解決を図ります。今後も最新鋭の設備と高度なマンパワーを駆使してお客様の研究開発を支援し、未来を豊かに彩る製品づくりのお手伝いをさせていただきたいと考えています。

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