多段式HP-CP装置
【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却が可能
【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。
- Company：クリーン・テクノロジー株式会社
- Price：応相談
