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多段式HP-CP装置

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最終更新日:2024年04月16日

クリーン・テクノロジー株式会社
クリーン・テクノロジー株式会社
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【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却が可能

【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン(近接ピン)は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。

    その他半導体製造装置
多段式HP装置[1].jpg

多段式HP-CP装置

多段式HP装置[1].jpg
多段式HP装置[1].jpg
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基本情報

〇装置概寸:(L)4000×(W)3600mm       基板サイズ:(W)2850×(L)3050対応時             その他、各世代に対応しております。 〇処理温度:【加熱】23℃→90℃〜150℃(Max240℃まで)       【冷却】150℃→23℃ 〇精密温調:23℃±0.1℃ 〇搬送方法:Robotにての受け取り、受け渡し ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

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用途/実績例

【用途】 〇液晶用カラーフィルター 〇PDP等大型基板製作ライン

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クリーン・テクノロジー株式会社

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産業用機械

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技術開発企業を目指し、液晶・半導体市場における地歩を固めるべく、持てるパワーを注力しております。 市場ニーズの適切な把握と即応力で、お客様要望の商品を提供してまいります。 また、将来事業に向け環境関連商品の開発にも手がけて行く、社会貢献できる体制の構築に努めたいと思っております。

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