【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却が可能
【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。
![多段式HP装置[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/4f8/42552001/IPROS36875428705258979945.jpeg?w=448&h=448)
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基本情報
〇装置概寸：(L)4000×(W)3600mm 基板サイズ：(W)2850×(L)3050対応時 その他、各世代に対応しております。 〇処理温度：【加熱】23℃→90℃〜150℃（Max240℃まで） 【冷却】150℃→23℃ 〇精密温調：23℃±0.1℃ 〇搬送方法：Robotにての受け取り、受け渡し ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
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納期
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用途／実績例
【用途】 〇液晶用カラーフィルター 〇PDP等大型基板製作ライン
企業情報
技術開発企業を目指し、液晶・半導体市場における地歩を固めるべく、持てるパワーを注力しております。 市場ニーズの適切な把握と即応力で、お客様要望の商品を提供してまいります。 また、将来事業に向け環境関連商品の開発にも手がけて行く、社会貢献できる体制の構築に努めたいと思っております。