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高速応答（400Hz以上）！摺動部分がなく長寿命な空気圧サーボ弁
『AS110シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型3方弁です。 トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造となっており フレキシブル管に支持されています。コイルに電流を印可すると、 上下磁極との磁気的関係により電流の極性と大きさに応じたトルクが発生し アマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化する ことによって空気圧を制御しています。 【特長】 ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
フォースモータ（VCM）とスプールは一体構造で入力電流に応じた推力がスプールを変位させます
『AS3x0Sシリーズ』は、電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを 用いたスプール型3方弁です。 スプールが変位することで開口面積が増加し、流量が上昇します。 スプールはアナログ変位センサ（LVDT）で位置決めされます。 その他の特長として、スプールには空圧静圧軸受が設けられており 高い分解能を有しております。 【特長】 ■変位制御 ■大流量 ■摺動部がなく長寿命 ■高い分解能・ヒステリシス ■少ない内部リーク ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
摺動部分がなく長寿命！当社が取り扱っている空気圧サーボ弁をご紹介
『AS100シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型サーボ弁です。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の 極性と大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 また、ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することに よって空気圧を制御しています。 【特長】 ■高速応答 ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アマチュアはフラッパと一体構造となっており、フレキシブル管に支持されています
ノズルフラッパ型サーボ弁『AS121-106』は、電気－機械変換部に トルクモータを用い、可変抵抗（ノズルフラッパ）と固定抵抗 （スリット絞り）で構成された低ノイズ型4方弁です。 スリット絞りは、可変絞りであるノズルとペアで流路を構成。 縮流絞りである通常のオリフィスに対して、スリット絞りは中心から 外周へのスリットにより拡張流れとし、入口より出口の流れを減速しています。 出口部での音速流れを減じることによって安定した絞りとなり、 制御圧力のノイズを小さくしています。 【仕様】 ■定格圧力：600kPa ■定格流量：28NL/min ■定格電流：100mA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
「安定・自在・精密」に圧力制御することが可能
『AS260』は、ある程度大きな流量を、あまり早くない応答で圧力制御 するために開発された圧力制御弁です。 本弁はブースタ、ノズルフラッパ弁、圧力センサおよび制御アンプを 一体化した構成となっております。 ブースタにフェアチャイルド社製のモデル20を用いており、このブースタの パイロット圧力をNF弁によって精密に制御することで高応答、高分解能、 そして大容量の圧力制御弁を得ることができます。 シリンダと組み合わせたクリープ試験の力制御や脈動の除去等に活用いただけます。 単独で用いる際に便利な設定ボックスも用意しています。 【低リークNF弁の主な仕様（一部抜粋）】 ■型式：AS110-204 ■定格電流：±30mA ■コイル抵抗：200Ω ■最大制御流量：6.0NL/min ■内部リーク：0.6NL/min ■使用圧力範囲：0～1.0MPa ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
スプールに空圧静圧軸受が設けられており高い分解能を有しております
『AS3x3Sシリーズ』は、電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを 用いたスプール型3方弁です。 フォースモータ（VCM）とスプールは一体構造となっており、 入力電流に応じた推力がスプールを変位させます。 そしてスプールが変位することで負荷圧力が上昇します。 また、速度検出器が設置されており速度信号をフィードバックすることで 高い安全性を確保しています。 【特長】 ■圧力制御 ■大流量 ■摺動部分がなく長寿命 ■高い分解能・ヒステリシス ■少ない内部リーク ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型・軽量、精密、長寿命！ ※清浄空気であれば基本メンテナンスフリーです！
当社の『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』のご紹介です。 比較的小さな流量を高応答で制御できる小型・軽量なサーボ弁です。 ～動作原理～ トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造で、フレキシブル管に支持されています。 コイルに電流を印可すると、トルクが発生しアマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、フラッパの動きに応じてノズル部開口が変化することで空気圧を制御しています。 出口部での音速流れを減じることで出力ノイズの小さい安定した絞りを実現した ディスク絞り を搭載した製品もございます。 【特長】 ■摺動部分無し ■高い分解能と高速応答 ■小型・軽量で扱いやすい ■負圧制御構造も対応可能 ※＜適合サーボアンプ＞ 空気圧サーボ弁を最適な状態でご使用いただくために開発されたサーボアンプ「CA250 シリーズ」もございます。 30mA 駆動用アンプにセンサアンプ(LVDT、歪圧力センサ)とプリアンプを構成したことにより簡易的な制御系を構築できるようになりました。 詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
軽量案内弁により高速応答を実現！メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁
『カフィードバック型空気圧サーボ弁』は、前段部でパワーを 増幅することにより小型化を実現しました。 精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁により高速応答が可能。 メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁が特長です。 定格圧力600kPa、定格電流30mAとなっております。ご用命の際は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁 ■精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁より高速応答を実現 ■前段部でパワーを増幅することにより小型化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
装置の小型化にも貢献！
電気-機械変換部にトルクモータを用いた『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』の超小型3方弁のご紹介です。 通常のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁と駆動原理は同様次の通りです。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の極性と 大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することによって空気圧を制御しています。 弁を小さくすることで、搭載する装置全体の小型化にも貢献でき、 また小型のロボット等アニマトロニクス向けにも適していると考えます。 【特長】 ■高速応答(400Hz 以上) ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
空気圧駆動 アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁
当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適した とても使い勝手の良いお勧めの新製品です。 精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化した圧力制御弁 ・電気信号に比例してパイロット部（パイロット弁）の出力圧力を制御 ・搭載サーボ弁は超小型・軽量の低リークノズルフラッパ型空気圧サーボ弁で摺動部分がなく、長期安定性に耐える構造 ・制御基板はシンプルな回路構成により高いゲインで安定した制御を実現 ・圧力センサはパイロットの出力圧力を検知し、アンプ基板にフィードバック、また外部へモニタ出力される ご不明点等ございましたらお気軽にお問い合わせください。
