超大流量 高精度/減圧弁 FR2000 シリーズ
低圧システムのための理想的なパージレギュレーター
■高精度 ■非常に正確で、大流量と圧力低下の少ない設計で、 低圧用パージレギュレーターに最適
- 企業:株式会社テクメイション
- 価格:応相談
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低圧システムのための理想的なパージレギュレーター
■高精度 ■非常に正確で、大流量と圧力低下の少ない設計で、 低圧用パージレギュレーターに最適
負圧制御が可能な絶対圧減圧弁でダイヤフラム径の大きな高感度タイプです!
44-4600シリーズは、陽圧の入口圧を真空から0.2MPaAの圧力に減圧可能な 絶対圧調整器で、大気圧付近の圧力調整が必要な用途に最適です。ダイヤフラムは同心円の波形をもち高感度な圧力制御を生み出します。この調整器は高純度ガス供給システム用に設計されており、接ガス部は316ステンレス、テフロン、エルジロイのみで構成されているため、腐食性のガスにもご使用いただけます。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムシール ・高純度ガスや腐食性のガスにもご使用いただけます ・オプションで最大入口圧力は24.1MPaまで対応 ・オプションでドームロードまたはエアロードタイプも選択可能
■ IGS用(集積) ■ タイド式
■ 最新技術のOEMガスシステムのための製品 ■ 超高感度の圧力調整でマスフロー性能を強化 ■ 広範囲にわたるアプリケーションで優れた性能 ■ 卓越したDROOPと再現性 ■ 表面は10Raまたは5Ra