負圧制御が可能な絶対圧減圧弁でダイヤフラム径の大きな高感度タイプです!
44-4600シリーズは、陽圧の入口圧を真空から0.2MPaAの圧力に減圧可能な 絶対圧調整器で、大気圧付近の圧力調整が必要な用途に最適です。ダイヤフラムは同心円の波形をもち高感度な圧力制御を生み出します。この調整器は高純度ガス供給システム用に設計されており、接ガス部は316ステンレス、テフロン、エルジロイのみで構成されているため、腐食性のガスにもご使用いただけます。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムシール ・高純度ガスや腐食性のガスにもご使用いただけます ・オプションで最大入口圧力は24.1MPaまで対応 ・オプションでドームロードまたはエアロードタイプも選択可能
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基本情報
本体材質:SUS316製 最高入口圧力:2.76MPaG (オプション品でMAX24.1MPaG対応品もあり) 2次側調整圧力:0.006~0.20MPaA CV値:0.24 ・様々なオプション品あり ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
半導体ガス供給装置
企業情報
TESCOM社圧力調整器 HOKE社製バルブ、GYROLOK継手 Unuted Electric社製Precision sensors製品 mott社製高純度フィルター 高温高圧流体の試験装置、石油、化学産業及び一般産業向けの装置に向けた流体制御機器の取り扱いをしています。 高圧水素に対応する圧力調整器、バルブの 取り扱い実績あり。 半導体製造装置向けの圧力調整器、フィルター、差圧計などを幅広く取り扱い。 高圧の流体を使用する産業に向けて以下のような製品群も取り扱っています。 ウースターコントロール社ボールバルブ 超高圧バルブ、継手(オートクレーブ社、ビューテック社、HIP社) 高圧用電磁弁 ステンレスチューブ、パイプ、フレキシブルチューブ、 テフロン等各種配管材 流量計、圧力計、その他計装用機器 マスフローコントローラ、 コントロールバルブその他流体制御機器 変換継手、反応管、各種製作品の少量、短納期で手配致します。 インコネル、ハステロイ等、特殊材の継手、製作品の手配致します。