超高純度用減圧弁 テスコム社製 74-2400シリーズ
ポジティブシール方式 超高純度用レギュレーター
■ ダイヤフラムはタイド式です ■ シート材質選択できます ■ VCR接続
- 企業:株式会社テクメイション
- 価格:応相談
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ポジティブシール方式 超高純度用レギュレーター
■ ダイヤフラムはタイド式です ■ シート材質選択できます ■ VCR接続
バランス型ステム設計で、使用圧力の範囲を超える圧力の バイアスの調整が不要な、背圧弁 26-2900 シリーズ
■低アキュミュレーション ■どの位置にも取付可能 ■ステンレス製または真鍮製
高圧液圧用の大流量背圧弁です!
54-2300シリーズは高圧で大流量の液体用背圧弁です。CV値は1.6あり、68.9MPaまでの高圧液体制御にお使いいただけます。標準でスプリングロード式、ドームロード式、エアロード式が選択可能です。 【特徴】 ・優れたクラッキング特性 ・多彩なOリング材質で様々な流体に対応 ・摩耗耐性に優れた強化ステンレスシートとステム
超高圧100MPaまでの調整が可能なピストン式高圧液体用の背圧弁です!
54-2100シリーズは高圧、小流量の液体用背圧弁です。ピストン式の高圧液体用で、シートには17-4PHステンレスを採用しております。背圧弁は安全弁とほぼ同様の機能を持ち、吹出し、吹止まりの差の少ない高感度な制御を必要とする用途などに最適です。この調整器は8種類の一次側圧力調整範囲を持ち、最適な機種をお選びいただけます。 【特徴】 ・精度:圧力調整範囲の±1% ・多彩なOリング材質で様々な流体に対応 ・オプションでエアロードとドムロード式もお選びいただけます ・摩耗耐性に優れた強化ステンレスシートとステム
■ IGS用(集積) ■ タイド式
■ 最新技術のOEMガスシステムのための製品 ■ 超高感度の圧力調整でマスフロー性能を強化 ■ 広範囲にわたるアプリケーションで優れた性能 ■ 卓越したDROOPと再現性 ■ 表面は10Raまたは5Ra
負圧制御が可能な絶対圧減圧弁でダイヤフラム径の大きな高感度タイプです!
44-4600シリーズは、陽圧の入口圧を真空から0.2MPaAの圧力に減圧可能な 絶対圧調整器で、大気圧付近の圧力調整が必要な用途に最適です。ダイヤフラムは同心円の波形をもち高感度な圧力制御を生み出します。この調整器は高純度ガス供給システム用に設計されており、接ガス部は316ステンレス、テフロン、エルジロイのみで構成されているため、腐食性のガスにもご使用いただけます。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムシール ・高純度ガスや腐食性のガスにもご使用いただけます ・オプションで最大入口圧力は24.1MPaまで対応 ・オプションでドームロードまたはエアロードタイプも選択可能
低圧システムのための理想的なパージレギュレーター
■高精度 ■非常に正確で、大流量と圧力低下の少ない設計で、 低圧用パージレギュレーターに最適