薄膜微細加工『電極成膜』
スパッタリング技術で、高純度高精度な電極膜を形成!当社の薄膜微細加工をご紹介
シンコーの薄膜微細加工『電極成膜』についてご紹介いたします。 スパッタリング技術で、高純度高精度な電極膜を形成。磁性膜はFe/Ta系、 高純度Fe(パーメンジュール)、電極形成膜はAu、Cr、Ni/Crが形成可能です。 ターゲット純度や組成についてはお問合せください。 【スパッタリング技術で形成可能な薄膜種類】 ■磁性膜:Fe/Ta系、高純度Fe(パーメンジュール) ■電極形成膜:Au、Cr、Ni/Cr ■絶縁性膜:SiO2、Al2O3 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:シンコー株式会社
- 価格:応相談