レクザム 超臨界流体CO2応用装置
ナノレベルの微細構造物を壊さずに乾燥できます！
超臨界処理は、ＭＥＭＳのような、ウエットエッチ等で加工された三次元構造が非常に微細・脆弱で、自然乾燥、IPA乾燥では液体界面に発生する表面張力によって変形、破壊される構造物を気中に取り出す工法です。 密閉されたチャンバー内でウエハ等をIPA等の液浸状態から超臨界CO2を注入し、IPA界面の表面張力がない状態のまま、IPAを排出してダメージレスで乾燥させます。
- 企業：株式会社レクザム 香川工場
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
