ナノレベルの微細構造物を壊さずに乾燥できます！
超臨界処理は、ＭＥＭＳのような、ウエットエッチ等で加工された三次元構造が非常に微細・脆弱で、自然乾燥、IPA乾燥では液体界面に発生する表面張力によって変形、破壊される構造物を気中に取り出す工法です。 密閉されたチャンバー内でウエハ等をIPA等の液浸状態から超臨界CO2を注入し、IPA界面の表面張力がない状態のまま、IPAを排出してダメージレスで乾燥させます。
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基本情報
【特徴】 ○表面長禄が発生しないため、微細構造へのダメージが無くウォーターマークが皆無 ○液状では入らない微細孔にも入ることが可能 ○高エネルギーで油分の融解が可能 ●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、お問い合わせ下さい
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価格帯
1000万円 ~ 5000万円
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企業情報
レクザムの代名詞とも言える「検眼器」。検眼器は眼科や眼鏡店で使用され、遠視・近視・乱視などを瞬時に測定する医療機器。精密技術の進歩が進んだ現代でも、検眼器を製造できるメーカーは、世界を探しても貴重な存在です。今から約20数年前、ある眼鏡加工機器メーカーからの依頼で始まった挑戦は、眼光学や画像処理、精密機械設計など、我々にとって未知の領域の技術を研究、習得する歴史でもありました。現在では、そのクオリティの高さが認められ、世界120ヶ国で販売。さらに検眼器の開発を通じて習得した眼光学や画像処理技術は、眼圧計や濃度計、基板外観検査装置、クリーンロボットなど、レクザムの新たな製品開発に活かされています。