圧電膜成膜装置
MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。
米国AMS社スパッタ装置(圧電膜、誘電体膜、メタルスパッタ装置)は、Al膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜において高い面内均一性を達成します。
- 企業：株式会社マツボー
- 価格：応相談
成膜装置×株式会社マツボー - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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Dynavac社天体望遠鏡用成膜装置
2 m以上の望遠鏡基板に光学多層膜を成膜（スパッタ、蒸着）します。
Dynavac社は望遠鏡へのコーティングにおいて、リーディング企業です。 ・スパッタと蒸着による成膜 ・様々な鏡の形状にあわせます ・膜厚均一性：±5 %未満
- 企業：株式会社マツボー
- 価格：応相談
多層膜成膜装置 (ポリパラキシレン＋ALD）
ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層を交互に積層します。
パリレンは生体適合性を持つ高機能樹脂ですが、無機酸化物と比較するとガスバリア性が低いという欠点があります。そこで、パリレンと酸化物をサンドイッチのように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることなく成膜するので、パーティクルの心配はありません。また、プロセス・ノウハウもメーカはあるので、レシピに関する情報も提供可能です。 デモ成膜も行っていますので、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社マツボー
- 価格：応相談
