MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。
米国AMS社スパッタ装置(圧電膜、誘電体膜、メタルスパッタ装置)は、Al膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜において高い面内均一性を達成します。
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基本情報
原理：DC，AC（デュアルマグネトロン）スパッタリング 特徴 AlN、AlScN（圧電）膜、Mo（メタル）膜の成膜 優れた応力制御/分布 結晶性 高スループット 高歩留まり 高いメンテナンス性 200 mm ウエハ対応 非常にコンパクトな設計 R&Dから量産装置まで FBARアプリケーションでは、世界一のシェア 適用例 FBAR、MEMS、センサ向けに 納入実績 国内；複数台 海外：多数台納入
価格帯
納期
用途／実績例
MEMS、FBARなどのフィルタ向け 国内；複数台 海外：多数台納入
企業情報
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。