多層成膜により耐荷重性向上した低温DLC(Diamond-like carbon）薄膜硬質コーティングが可能！
高密着で安定した高品質な成膜が可能！ 高硬質(耐摩耗性)、低摩擦係数(耐摩耗性)、耐食性、耐凝着性、平滑性なDLC成膜をおこなうことで 半導体製造装置パーツ用金型や樹脂成形金型、摺動部品や治工具などの長寿命化に貢献。 顧客のコスト削減だけでなく、清掃作業などの保守業務工数削減や業務改善にも最適。 立体的な超精密な複雑形状な金型や機械部品にも 「はがれにくく高密着、平滑＆硬質な低温DLC成膜」が可能。 高硬度＆耐摩耗性向上だけでなく「剥離処理～再成膜も受託可能」なため、 製品のライフサイクルコスト低減や材料廃棄削減など環境負荷低減にも貢献。 ++++++++++++++++++++++++++++++ DLCとは：ダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon)の略で、 ダイヤモンドとグラファイトの中間特性を有する滑り性の良い硬質な薄膜コーティングが可能。 SP3(ダイヤモンド結合)とSP2(グラファイト結合)の比率、その中に含まれるH(水素)の比率、 また多層被膜することによって、様々な物性や特性(工業的価値)を持つ薄膜を作ることが可能。
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基本情報
【効果】 ・金型の長寿命化（離型性向上＆耐摩耗性向上） ・型汚れ低減により自動運転や清掃作業短縮が可能 【膜種】 CrN(多層)、TiN、TiAIN(多層) 【膜厚】 薄膜0.2～厚膜8μm 【応力】 20 GPa 【摩擦係数】 0.29～0.45 【処理温度】 低温180℃、高温300℃
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ・樹脂成型金型、ゴム成形金型 ・高精度光学レンズ成形金型 ・半導体モールド金型、精密金型、治工具 【参考実績】 「低温処理のため母材の硬度や品質を低下させず成膜」が可能で 母材材質は金属だけでなくゴム製品(Oリング等)にも可能。 【成膜のご相談やテスト成膜可能です】 クリエイティブコーティングスでは、テスト成膜やサンプル作成を承っております。 お客様のご要望を聞きし、用途や材質に応じた、最適なDLC構造比率、成膜条件、膜厚の調整やご提案が可能です。 まずはお気軽にご相談ください。 【評価依頼】 トライボロジー試験など、各種評価依頼も可能です。 他社コーティング品の評価のみのご依頼も可能です。お気軽にご相談ください。 【受託成膜】 小ロット多品種から量産まで受託成膜も可能です。お気軽にご相談ください。 ※コーティングで改善したい効果や成膜スペック等ご相談ください。最適な成膜プロセスをご提供いたします。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 低温DLC成膜装置 (多層ta-C、水素フリー) | 従来ta-Cと比較し密着力向上、高硬度＆耐摩耗性の向上、耐凝着性の改善 |
| 低温DLC成膜装置 (多層CrN/TiAIN、水素含有Ti系) | 多層成膜により耐衝撃性向上、耐荷重性＆耐衝撃性向上、高密着で被膜剥離がなく部品寿命が向上 |
カタログ（2）
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企業情報
カーボンニュートラル実現に向けたキーテクノロジーの1つである次世代電池、さまざまな機能を持ったナノスケールの機能性粒子、５G・６G通信システムや環境対応車の普及、先進運転支援システム (ADAS)の進歩を背景に超小型化・高信頼性が求められるMLCCをはじめとする受動部品、DXによる質の高い医療、AI・デジタル化の進む医療機器など、社会のあらゆる分野で我々のコーティング技術に期待が集まっています。
