装置の設計からアフターサービスまで！各種装置のご提案が可能です
成膜装置として、小型バッチ式スパッタリング装置「SPB-311型」を 制作した事例をご紹介いたします。 クライオポンプをメインポンプとしたクリーンな排気系で、 マグネトロンカソードを搭載。RF/DC電源の選択が可能です。 シナノ精機は協力会社の連携により、装置の設計からアフターサービスに至る ライフサイクルすべてをサポートしています。 【主な仕様】 ■クライオポンプをメインポンプとしたクリーンな排気系 ■マグネトロンカソードを搭載(最大3基) ■RF/DC電源の選択が可能 ■基板回転機構 ■全自動タッチパネルシーケンス、手動併設 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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【用途】 ■製品のサンプル製作 ■研究、開発 ■テストチップ製作 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
シナノ精機は、「顧客満足度と技術力を限りなく追求し、社会に貢献する」という経営理念のもとに事業を展開して参りました。 グループの一人ひとりが経営理念に基づき、高い技術と向上心、プロ意識を持って、お客様の満足と、社会の発展に貢献するために力を結集しています。 そして、「最先端の技術は、現場から生まれる」をモットーに、現場主義を行動指針とし、日々努力を重ねております。