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半導体製造装置・真空プロセス機器等 修理・延命化サービス

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サーボモーターおよびドライバ修理・延命化

最終更新日:2026年05月01日

ティー・ケイ・エス株式会社
ティー・ケイ・エス株式会社
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貴社の装置を ボルトオン、カプラーオンで延命化いたします

-TKSがご提供する 装置延命化サービス- 国内の半導体や電子デバイス製造には導入から20年を超えて使用されている装置が多く、生産には不可欠な装置も多々稼働中です。 ただ、装置に使用されているモジュールや部品などは既に生産中止になっているものも少なくありません。 消耗・劣化・故障したモジュールの修理・再生にあたり、現行品を使用することで装置の安定稼働につなげます。 また、安定供給やコスト削減を目的とした部品国産化もご相談ください。 -サーボモーター・ドライバー 換装による延命化- 稼働中の装置には多数のサーボモータが使用されていますが装置稼働中にもそのモータドライバとモータは数年ごとに更新され生産中止になります。 長年稼働中の装置に使用されているモータドライバもしくはモータが故障した場合、これまで中古品を探すか修理する以外に対応できませんでした。 この対応では「中古品がない!」「修理不可!」となった場合は稼働可能な範囲で装置を使用するか稼働停止や新規装置購入となりかねません。 弊社ではこのような問題を解決できるよう対応策を模索して実績までに至りました。

    ソレノイド・アクチュエータスパッタリング装置搬送・ハンドリングロボット
サーボ一式.jpg

半導体製造装置・真空プロセス機器等 修理・延命化サービス

サーボ一式.jpg
サーボ一式.jpg サーボ1.jpg フリップサーボ.jpg
  • 修理 延命化 サーボモーター ドライバ アクチュエーター修理 電源修理
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/tks-llc/product/

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基本情報

-延命化対応- メーカーの保守期間が終了した装置に対する延命化を図ります。 消耗・劣化・故障したモジュールの修理・再生にあたり、現行品を使用することで装置の安定稼働につなげます。 -現行部品での信頼性回復- サーボモータ内で摩耗した部品の交換による対処修理にとどまらず、現行モータ・ドライバを用いた互換モジュールによる延命化をご提供いたします。 現行生産モータ及びドライバを用いて、装置への取り付け部品・治具・コネクタ・カプラ等を製作し、「互換アクチュエーターモジュール」として準備をいたします。 ドライバも変換コネクタ等の準備をすることで、互換モジュールとして準備をいたします。 -装置無改造(非侵襲)による 信頼性の維持- 現行部品を用いての延命化では、それぞれのアクチュエーターを互換モジュールとして設えます。 新たなモジュールへの換装は「ボルトオン」「カプラーオン」で完結するため、稼働中の装置への加工無しに、装置の信頼性を維持しての延命化が実現できます。(*) (*)モジュール設置に際し追加工が必要となる場合もあります。 弊社で実績の無い装置に関しても是非ご相談ください。

価格帯

詳細はお問い合わせください

納期

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用途/実績例

-モーター修理例- ・2相モーター(PH264-01など) ・5相モーター(A3725-9215GMEなど) ・ACサーボモーター(HC-KFS053など) ・ACモーター(MK106-4DK.07.Uなど) ・BALDOR(M3116) ・DCサーボモーター(4DA02-2DG2Dなど) ・XR用ポンプモーター(DA90LA-C) ・ギヤードモーター(RB-35GM-SS001U2-24など) ・新明和BUILT-INN DDモーター(B05-13-7) ・ロボットハンドラーモーター(906039など) -ドライバ修理例- ・2相ドライバ ・5相ドライバ ・ACサーボドライバ ・AXLドライバ ・INDEXERドライバ ・SERVO PAK ・STAK PAK ・ステッピングドライバ ・リニアサーボドライバ -その他、修理例- ・DC電源 ・AGVマルチ電源ユニット ・インバーター ・FFU ・MINDOMANシリンダー ・MKSモーター

ラインアップ(3)

型番 概要
サーボモーター リフレッシュ修理
サーボモータモジュール 延命化
ドライバ延命化

企業情報

ティー・ケイ・エス株式会社

ティー・ケイ・エス株式会社

産業用機械

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半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置のことなら当社へ 当社は、2016年3月に真空プロセスに関連する世界の先進技術を有する 海外メーカー数社の代理店業務ならびにこれら装置に係わる保守業務を 提供する目的で設立致しました。 当社の取扱製品・装置は、スパッタリング、高密度プラズマソースおよびパルス電源、 イオンビームエッチング・ミリング、イオンビームスパッタリング、 中性クラスターイオンビームプロセス装置、有機材料昇華精製並びに成膜装置、 液体用各種フィルター、洗浄用ブラシなど多岐にわたっています。

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