ウェハ拡張装置『HS-1810』
モーター駆動採用！無発塵でクリーンルームにも好適。
『HS-1810』は、長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、 顧客の立場に立って開発されたウェハ拡張装置です。 使い易さ、精度、汎用性に優れるほか、モーター駆動の採用により 1mm単位のステージストローク設定が可能になり、より高精度な拡張を実現。 リングサイズの変更は、治具交換のみで対応でき、アルミ製拡張リング、 グリップリング、特殊仕様リング等、ニーズに合わせた改造も可能です。 【特長】 ■1mm単位の高精度設定が可能 ■フィルム予備加熱機構 (タイマー付) ■ステージ加熱 (Max. 100℃) ■ステージストローク調整機構 (Max. 90mm、1mmレンジ) ■ステージ上昇速度可変機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ヒューグルエレクトロニクス株式会社
- 価格：応相談
