モーター駆動採用！無発塵でクリーンルームにも好適。
『HS-1810』は、長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、 顧客の立場に立って開発されたウェハ拡張装置です。 使い易さ、精度、汎用性に優れるほか、モーター駆動の採用により 1mm単位のステージストローク設定が可能になり、より高精度な拡張を実現。 リングサイズの変更は、治具交換のみで対応でき、アルミ製拡張リング、 グリップリング、特殊仕様リング等、ニーズに合わせた改造も可能です。 【特長】 ■1mm単位の高精度設定が可能 ■フィルム予備加熱機構 (タイマー付) ■ステージ加熱 (Max. 100℃) ■ステージストローク調整機構 (Max. 90mm、1mmレンジ) ■ステージ上昇速度可変機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■フィルムオートカット機構 ■最大ウェハサイズ 8インチ ■各種拡張リング、フレーム対応 ■モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ヒューグルは1969年、半導体産業の創世期に半導体製造装置のワールドリーダーだったアメリカ・ヒューグルインダストリーズ社の極東支社として、最初のスタートを切りました。そして、この先発の利を生かし、1971年に独自のメーカーとしての基盤を確立。 以来、日進月歩で進化を続ける半導体及びＬＣＤなどフラットパネルの世界で、つねに時代の流れに先駆けて、数々の独創的な 製品を開発・提供してきました。 特にご注目いただきたいのは、あくまでもオリジナリティにこだわり、他があまり手がけない、しかも品質に大きく影響する “ピュアでクリーンな生産環境に関わる機器・装置”に、いち早く着目して専門特化をはかったことです。 ご承知のように、半導体の技術革新は限りない高集積化をめざしており、必然的に生産や検査をめぐる環境には「超」のつく 清浄度と純粋さが求められます。 そこで私たちは“Ｃｌｅａｎ＆Ｑｕａｌｉｔｙ”の理念を前面に掲げ、持てる技術の精緻を究めて、より高度な生産環境を 実現するために、力を尽くしてきたのです。
