電子線描画装置
高加速電圧100ｋVの高精度タイプからSEM機能も有するユニバーサルタイプの電子線描画装置をラインナップ、各種ニーズに対応可能
Raith社のEBPGシリーズは、少量生産対応の高速高精度な電子線描画装置で、WWで納入実績は130台以上 EBPGの特徴 ●最大電流値350ｎAを有し、業界最速のスループットを実現 ●Overlay５nm 以下、Stiting8nm以下で高精度描画可能 ●パターンサイズに併せ、描画中にアパチャー自動変更可能で、描画時間短縮 ●対応基板サイズ最大8インチ ●量産対応のオートエアロック（最大10ホルダー） 研究開発向け電子線描画装置ラインナップ ●Pioneer Two（EBL-SEM hybrid）50mmｘ50mmまで対応 ●eLINE Plus 4”まで対応 ●Raith150 Two 8 まで対応 ●Voyager （ミニエン付）8”まで対応
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
