大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応!】
真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール!真空ロボット方式やローラー方式における課題を解決します!
当社は、真空中での重量物搬送に特化した独自コンセプトのソリューションで、従来方式(真空ロボット方式やローラー方式)における課題を解決します。独自採用のメカニズムにより、僅かな搬送力で重量搬送が可能となり、シンプルな搬送機構で低コストを実現しています。一般的な製品に比べ、50%の薄型化を実現し、チェンバー容積を大幅に削減することができます。 【特長】 ■シンプル・スリムなのにパワフル(可搬重量200kg対応) ■低発塵機構 ■ロングストローク対応(特許願 2011-10118) ■360度回転可能 ■真空排気機能付き専用コントローラ ■カスタマイズ対応 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
- 企業:コミヤマエレクトロン株式会社
- 価格:応相談