真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール！真空ロボット方式やローラー方式における課題を解決します！
当社は、真空中での重量物搬送に特化した独自コンセプトのソリューションで、従来方式(真空ロボット方式やローラー方式)における課題を解決します。独自採用のメカニズムにより、僅かな搬送力で重量搬送が可能となり、シンプルな搬送機構で低コストを実現しています。一般的な製品に比べ、50%の薄型化を実現し、チェンバー容積を大幅に削減することができます。 【特長】 ■シンプル・スリムなのにパワフル(可搬重量200kg対応) ■低発塵機構 ■ロングストローク対応(特許願 2011-10118) ■360度回転可能 ■真空排気機能付き専用コントローラ ■カスタマイズ対応 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
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基本情報
【仕様】 ■可搬重量 200kg以下 ■搬送軸 X:3000mm、θ:360°、Z:100mm ■繰り返し精度 ±1mm以下 ■搬送速度 X:300mm/s、θ:180° ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
コミヤマエレクトロンでは、当社の強みである設計技術・生産技術・真空技術と長年携わってきたノウハウにより、半導体、液晶、有機ＥＬ、太陽電池等幅広い分野における各種真空装置の設計、製造を行っています。また加速器に使用される関連機器、各種真空コンポーネントの設計、製造も行っております。真空のことは弊社にお任せ下さい。