コインスタック梱包・開梱装置『PT150/200/300』
クリーン度はClass10対応！薄型ウェハー対応のコインスタック梱包・開梱装置
『PT150/200/300』は、極薄ウェハーから標準ウェハーまでウェハーを ベルヌーイ・エンドイフェクターで非接触自動搬送しコインスタック（横置き） 梱包、開梱する装置です。 コインスタック（横置き）式出荷ボックス、キャリア（FOUP、カセット）間の 詰め替えが自動で行えます。 メーカーを問わず、多種コインスタック（横置き）梱包ボックス、インサート （ウェハー間の保護紙、フィルムなど）に対応します。 【特長】 ■薄型ウェハー対応 ■メーカーを問わず、多種コインスタック（横置き）梱包ボックス、 インサートに対応 ■グラインダー、分析計、欠陥検査装置へのコインスタックローダー、 アンローダーとしての仕様も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：デリクソンテクノロジージャパン株式会社
- 価格：応相談
