クリーン度はClass10対応！薄型ウェハー対応のコインスタック梱包・開梱装置
『PT150/200/300』は、極薄ウェハーから標準ウェハーまでウェハーを ベルヌーイ・エンドイフェクターで非接触自動搬送しコインスタック（横置き） 梱包、開梱する装置です。 コインスタック（横置き）式出荷ボックス、キャリア（FOUP、カセット）間の 詰め替えが自動で行えます。 メーカーを問わず、多種コインスタック（横置き）梱包ボックス、インサート （ウェハー間の保護紙、フィルムなど）に対応します。 【特長】 ■薄型ウェハー対応 ■メーカーを問わず、多種コインスタック（横置き）梱包ボックス、 インサートに対応 ■グラインダー、分析計、欠陥検査装置へのコインスタックローダー、 アンローダーとしての仕様も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■操作方法：タッチスクリーンパネル ■クリーン度：Class10 対応 ■規格：CE,SEMI-S2,S8 準拠 ■スループット：180枚/時間（20秒/枚） ■必要ファシリティ：N2又はAir（0.6-0.7MPa） ■電源：100-200VAC 50-60Hz ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■極薄ウェハー、標準ウェハー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
デリクソンテクノロジージャパン株式会社では半導体装置、周辺機器の中古売買及び、半導体製造装置周辺機器のロボット、RF電源、マッチングボックス、VATバルブ等の修理サービスを行っております。