パネル電極検査機
既存の製造ラインに取付て電極部の画像検査ができます。
パネル電極検査機は、パネル製造ラインで搬送基板のG電極線の断線/半断線を検査します。 搬送機にブリッジを立てて上部から2箇所、両側に高速ラインカメラと光学系で300mm/秒で動く大型パネルの電極線を5μm分解で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
検査装置(ラインカメラ) - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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ウエハBG・テラス検査機
オートアライメントと自動検査を ハイスループット1枚30秒で検査します
ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
インライン用 表裏面外観検査装置
パネル製造ラインで表面・裏面のキズ欠陥を自動検査できるインライン用の基板外観検査機。
「表裏面外観検査装置」は、インライン用の基板外観検査機です。 検査基板の上下に取り付けて走行基板をセンサで検出してラインカメラで外観検査をします。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
ウエハエッジ検査機
計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！
ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。 検査時間は1枚に10秒と高速です。 外部通信機能でこのまま自動機に組込ができます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
