オートアライメントと自動検査を ハイスループット1枚30秒で検査します
ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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【特長】 ●ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査が できます。 ●セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査を ハイスループット1枚30秒で検査します。 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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