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水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装置
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■最小検出分解能2.8μm(1.4μm) ■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単操作、高精度。透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載
検査装置「透明膜検査証明装置」は、透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できます。臨界角よりガラス基板 の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光らない為、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の散乱表面反射を押さえ透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げるハレーション効果を上げています。それにより背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせることが可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
簡単操作、高精度！透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載！
『透明膜検査証明装置』は、透明ガラス上に形成された透明膜などの パターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できる装置です。 臨界角よりガラス基板の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ、 臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光りません。 また、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の 散乱表面反射を押さえ、透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げる ハレーション効果を上げています。 さらに、背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせる ことが可能です。 【特長】 ■照明装置を搭載 ■操作が簡単 ■高精度 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
