マクロ光学検査装置
世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載したマクロ光学検査装置
世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥を検出や形状を把握する技術です。 従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させ、業界最高レベルの高感度を実現します。 協業パートナー：スミックス株式会社 マクロ光学のエキスパートで、４つの関連特許を取得。薄膜ムラ検出アルゴリズムを弊社と共同開発。
- 企業：東京エレクトロン デバイス 株式会社
- 価格：応相談
