【動画】FIBによるめっき不良のSlice&View/3D構築
FIBのSlice & View機能によりめっき不良の起点から広がる様子、3D構築により不良の形状が確認できます
集束イオンビーム(Focused Ion Beam:FIB)装置は、集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。 また、FIB-SEMは高解像度のFE-SEM(電界放出形電子顕微鏡)を搭載しており、高分解能での観察と加工が同時に行えるのが特長です。 本動画はFIB-SEM(サーモフィッシャーサイエンティフィック社製:Helios5 CX)でSlice & Viewおよび3D構築の機能を使い『めっき不良の状況』を観察したものです。 詳しくは動画をご覧ください。
- 企業:セイコーフューチャークリエーション株式会社
- 価格:応相談