極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』
0.2%BeCu合金製で低ガス放出化を実現
『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで 従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を 大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、 温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 ★12月11日(水)より、「SEMICON Japan 2019」に出展します! 【特長】 ■真空系のガス放出を大幅に低減 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP不動態化 ■300℃までのベーキングに対応可能 ■銅ガスケットを使用可能 ※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。
- 企業:東京電子株式会社
- 価格:応相談