枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001
2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
洗浄機(回転ノズル) - 企業1社の製品一覧
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半導体製造装置 自動石英管洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
