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クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置！
高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自のジェットノズルで洗浄除去する装置！
『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着がありません。 ・有機溶剤を使用した薬液洗浄方式 ・縦型回転機構による薬液高回収率の実現 ・1 000mm×1 500x2 000mm のコンパクトサイズ ・UV 照射ユニット、テープ除去ユニット取付可 ( オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのクリーン乾燥を実現！
高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。 ■特長 ・ デバイス・ウエハー・ガラス・部品等、材質や形状を問わず高純度のIPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策 ・材質や形状を問わず、高純度IPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・オールステンレスにより破損の危険性を排除 ・ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け、持ち出しIPA を削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
