洗浄機(搬送) - 企業1社の製品一覧

チップ洗浄機

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 　■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 　■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能 　■歩留まりに貢献

• 企業：レイリサーチ株式会社
• 価格：1000万円 ~ 5000万円

• その他半導体製造装置