2流体でウェーハを徹底洗浄します。
純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 ■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 ■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能 ■歩留まりに貢献
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基本情報
【参考仕様】 ■リングフレームサイズ：200mm、300mm ■構成要素 →ローダ・アンローダユニット →搬送ユニット →洗浄ユニット
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
特別仕様に対応致します。お気軽にお問い合わせください。
企業情報
システム開発を中心に半導体検査装置の開発・販売、ソフトウエアの開発等トータル的なシステム開発に力を注いでいます。 当社では、開発技術力を提供出来ることを誇りとしているので、開発費を頂くことなく、低価格で開発品をご提案致します。 当社では、開発案件を頂いたら、まず評価機を作製し、ご提案する独自の開発プロセスで開発を進めていきます。開発初期段階から顧客の要望を取入れ、顧客との連携を一番に考え開発を進めるので、顧客の仕様に合わせた顧客専用のカスタマイズ製品の提供が可能です。