スティッチング干渉(SSI)測定機
ヌル光学系を使わずに高精度かつスピーディに非球面を測定するスティッチング干渉計
サブアパーチャーで被検面各部を最適な条件で測定し 各部の測定結果をつなぎ合わせて被検面全体の表面形状を算定します. 従来のフィゾー干渉計と比べて より広範な形状を高精度に測定することが可能になります. [製品ラインナップ] 1. ASI(Q) ・ 300mmΦまでの平面 球面 非球面の形状が測定できます. (より大口径への対応も可能) ・ 90°のスロープ(凸凹の完全半球)でも測定できます. ・ 1000λの非球面でも測定が可能です. ・ 高い測定精度 高い横分解能が得られます. 2. QIS干渉計 ・ 高いスロープ測定能力 スピーディに高精度が得られます. ・ 広いフォーカスレンジで 小Rの被検面でも測定可能です. ・ MRFにおけるスポット測定能力が飛躍的に向上します.
- 企業:QED Technologies International, Inc.
- 価格:応相談