ヌル光学系を使わずに高精度かつスピーディに非球面を測定するスティッチング干渉計
サブアパーチャーで被検面各部を最適な条件で測定し, 各部の測定結果をつなぎ合わせて被検面全体の表面形状を算定します. 従来のフィゾー干渉計と比べて, より広範な形状を高精度に測定することが可能になります. [製品ラインナップ] 1. ASI(Q) ・ 300mmΦまでの平面, 球面, 非球面の形状が測定できます. （より大口径への対応も可能） ・ 90°のスロープ（凸凹の完全半球）でも測定できます. ・ 1000λの非球面でも測定が可能です. ・ 高い測定精度, 高い横分解能が得られます. 2. QIS干渉計 ・ 高いスロープ測定能力, スピーディに高精度が得られます. ・ 広いフォーカスレンジで, 小Rの被検面でも測定可能です. ・ MRFにおけるスポット測定能力が飛躍的に向上します.
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基本情報
＊ SSIとは 多軸駆動制御システムにフィゾー干渉計を搭載して, 被検面各部を自動測定します. 被検面各部の測定にあたっては, 干渉縞が最もヌルに近い状態になるように微調整されます. 得られた測定結果は, スティッチングアルゴリズムによってつなぎ合わされ, 被検面全面の形状データが算定されます. スティッチングの過程で, 測定データからシステム誤差の補正がリアルタイムに行われ, 原器の波面収差や駆動系の制御誤差などが補正されて, 被検面本来の形状情報が得られます. ＊ SSIの利点 スティッチング干渉法は, 従来干渉法に比べて4つの大きな利点があります. 1.広い測定範囲 – 大口径や高NAでも測定ができます. 2.高い横分解能 – 詳細な形状情報が得られます. 3.高い測定精度 – システム誤差を自動的に補正して, 被検面本来の形状情報が得られます. 4.非球面の測定 – 専用のヌル光学系が不要です.
価格情報
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納期
用途／実績例
平面, 球面, 非球面, 自由曲面の形状測定
企業情報
QEDは, ニューヨーク州ロチェスターを本拠とする開発メーカーです. 最先端の研磨技術であるMRFと高精度非球面測定技術であるSSIをコア技術として, 精密光学業界の様々なニーズに応えます. MRFは, 磁性流体を用いて生成された数ミリの研磨ツールで光学表面全面を走査して, 高精度に形状を補正する研磨技術です. ワークの形状や傾きの大小にかかわらず, 光学表面を完全な形状に仕上げます. SSIは, 複数のサブアパーチャーによる干渉測定の結果をつなぎ合わせて, 被検面全面の高精度測定を可能にする干渉計測技術です. 専用のヌル光学系を使わなくても, 非球面や自由曲面の測定が可能です. 1996年の創設から現在にいたるまで, 世界中の100社を超えるユーザーのもとで, 300台を超えるMRF/SSI装置が活用されています.
