P/N判定、比抵抗測定仕分機（CJT-01型）
Siウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定
φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行いその結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
測定器(校正) - メーカー・企業と製品の一覧
測定器の製品一覧
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非接触式 直径測定器(DMC-02型)
レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）との比較により直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
半導体基板直径測定装置(DMC-03型）
Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）との比較により直径を測定する装置です。
直径測定値(平均直径値等）を付属パソコンにエクセル形式で保存します。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
