【表面処理】耐プラズマ性付与 イットリア溶射
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
【技術資料進呈】広範囲な溶射材料が使用可能!多様な機能を与えるセラミックス
プラズマ溶射は、プラズマ溶射ガンで生ずるプラズマジェットを用いて、 粉末状の溶射材料を加熱、加速し、溶融またはそれに近い状態にして 素地に吹き付けて皮膜を形成する溶射です。 熱源であるプラズマジェットは、5000~16000℃と高温かつ高速の ガス気流であり、金属系から高融点のセラミックス系まで広範囲な 溶射材料が使用可能。 印刷機部品、 炉内ローラ、ポンプスリーブ等の耐食、耐摩耗性に 適しています。 【溶射材料(一部)】 ■金属 ■合金 ■セラミックス ■炭化物 ■サーメット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
φ60の基材でも専用装置で、金属系から高融点のセラミックス系まで広範囲な溶射材料が使用できます。
■溶射材料:金属系・セラミックス系 ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:下記は一部例 アルミナ・・・・耐摩耗性、絶縁性 ジルコニア・・・遮熱、断熱性、絶縁性 ■施工可能最低内径:φ60 ■長さ方向施工可能範囲:約400mm
コージェライト、ゼオライト、ベントナイト、ガドリニア、イッテルビア等、用途は未知数ですが一般的でない材料のコーティングも承ります
■溶射材料:酸化物(コージェライト、ゼオライト、ベンテナイト、ガドリニア、イッテルビア等) ■溶射方法:プラズマ溶射
レアメタルと言われている高価な材料もコーティング可能です。用途としては開発途上ですが、お客様とともに未知の可能性を切り開きます。
■溶射材料:レアメタル系(タングステン、ニオブ、タンタル等) ■溶射方法:プラズマ溶射
高硬度で緻密なクロミア皮膜をシャフトのベアリング接触部へコーティングすることで、耐摩耗性とすべり性を付与することができます。
■溶射材料:クロミア系 ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐摩耗性とすべり性を付与
酸化物系の溶射材をコーティングすることで、黒鉛電極表面に絶縁性を付与することが可能です。
■溶射材料:スピネル(MgAl2O4)、アルミナ ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:絶縁性付与
ZrC(炭化ジルコニウム)皮膜は、約3500℃の融点と電気伝導性の特徴があります。環境にもよりますが、高い耐熱性が期待できます。
■溶射材料:ZrC(炭化ジルコニウム) ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐熱性・電気伝導性
アルミナやジルコニア系皮膜より優れた耐スポーリング性を持っており、高温での耐久性とカーボン基材と製品の反応防止を実現します。
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐スポーリング性(熱衝撃や温度勾配による剥離に強い) 耐熱性 カーボン基材と製品の反応防止
アルミナやジルコニア系皮膜より優れた耐スポーリング性を持っており、高温での耐久性とカーボン基材と製品の反応防止を実現します。
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐スポーリング性(熱衝撃や温度勾配による剥離に強い) 耐熱性 カーボン基材と製品の反応防止
アルミナやジルコニア系皮膜より優れた耐スポーリング性を持っており、高温での耐久性とカーボン基材と製品の反応防止を実現します。
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐スポーリング性(熱衝撃や温度勾配による剥離に強い) 耐熱性 カーボン基材と製品の反応防止
高機能化・長寿命化・軽量化に貢献
溶射は、金属・セラミックス・サーメットなど多様な皮膜を高速で形成するプロセスであり、航空機から一般家庭電化製品に至るまで幅広い分野で応用されています。 長年培ってきた技術・ノウハウで、要望に応えた皮膜を提供します。 ■付与機能 耐摩耗、耐腐食、耐熱・断熱、耐酸化、耐面圧、絶縁、耐プラズマ、耐エロージョン、耐ビルドアップ、耐焼付、防音、防振、反応防止、形状復元など
Ni系やCo系、Fe系はもちろんのこと、コバール(kovar)やパーメンジュール等の磁性材料のコーティングも可能です。
■溶射材料:金属系(ニッケル、カーバイド、鉄等) ■溶射方法:アーク溶射、プラズマ溶射、高速フレーム溶射 ■施工効果:下記に一例 ニッケルクロム・・・・・・・防食性(耐腐食性)、耐候性 タングステンカーバイド・・・高硬度、耐摩耗性 クロムカーバイド・・・・・・高温環境下での耐摩耗性、防食性(耐腐食性) 鉄・・・・・・・・・・・・・誘導加熱 アルミニウム・・・・・・・・防食性(耐腐食性)、耐候性、電気伝導性、熱伝導性 アルミマグネシウム合金・・・防食性(耐腐食性)、耐候性 銅・・・・・・・・・・・・・電気伝導性、熱伝導性 アルミブロンズ・・・・・・・耐酸化性、耐摩耗性、耐焼付性、加工性