【表面処理】耐プラズマ性付与 イットリア溶射
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸着時のシールドからの発塵を抑えることができます
■溶射材料:アルミニウム ■溶射方法:アーク溶射 ■施工効果:真空蒸着時のシールドからの発塵防止
φ60の基材でも専用装置で、金属系から高融点のセラミックス系まで広範囲な溶射材料が使用できます。
■溶射材料:金属系・セラミックス系 ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:下記は一部例 アルミナ・・・・耐摩耗性、絶縁性 ジルコニア・・・遮熱、断熱性、絶縁性 ■施工可能最低内径:φ60 ■長さ方向施工可能範囲:約400mm
高機能化・長寿命化・軽量化に貢献
溶射は、金属・セラミックス・サーメットなど多様な皮膜を高速で形成するプロセスであり、航空機から一般家庭電化製品に至るまで幅広い分野で応用されています。 長年培ってきた技術・ノウハウで、要望に応えた皮膜を提供します。 ■付与機能 耐摩耗、耐腐食、耐熱・断熱、耐酸化、耐面圧、絶縁、耐プラズマ、耐エロージョン、耐ビルドアップ、耐焼付、防音、防振、反応防止、形状復元など