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半導体プロセスで使用されるオゾン添加純水中のオゾンをリアルタイムで計測計測。
ＯＭ−ＵNＤシリーズは、半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をモニターするための紫外線吸光光度方式による液相用計器です。機能においては、それぞれの特長を最大限に発揮できるような構造と、校正が容易に出来るようなシステムを採用しました。 〜特長〜 ●小型軽量 ・指示付変換機はＤＩＮ９６×９６ｍｍ ・検出分離型（保護等級 ＩＰ４４相当） ●リアルタイム測定方式 ・オゾン水を、リアルタイムで直接測定が可能 ・独自のセル構造により圧力損失が少なく、耐圧性に優れ、気泡の影響をうけない構造 ●操作性 ・ゼロ調整・内蔵のチェック板によるスパン調整が可能 ・メンテナンス性の向上を目的としたアタッチメントセルの採用により、補正係数入力のスパン調整が可能 ●出力 ・濃度表示出力 ・４〜２０ｍＡ測定出力 ・ＨＩ・ＬＯ警報出力 ・ランプ劣化オープンコレクタ出力（ランプ表示）
小型軽量、オゾン水をリアルタイムで測定可能。表示器なしでもパソコンから設定可能！
NOL-UWシリーズは、半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水の溶存オゾン濃度をモニターするための紫外線吸光光度方式による液相用計器です。小型軽量のため設置が簡単で場所を取らず、操作性も優れています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
温度・圧力自動校正回路を内蔵した高精度オゾン濃度計
OZG-3000シリーズは、温度・圧力自動校正回路を内蔵した高精度オゾン濃度計です。 測定ガスの温度や圧力の変化によって微妙に変動するサンプリング条件を校正回路で自動校正します。より高精度な測定値が要求される分野で大きな威力を発揮します。 ラックマウント型とセパレート型の2タイプをご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
監視に必要な機能だけに絞り込むことで高いコストパフォーマンスを実現！
OZG-6000シリーズは、とくに監視用として開発された紫外線吸光光度法式のオゾン濃度計です。 水処理・殺菌処理などの監視に必要な機能だけに絞り込むことで高いコストパフォーマンスを実現。オゾン発生源および処理後の排ガス監視用に大きな効果を発揮します。 ラックマウント型とポータブル型の2タイプをご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
