半導体プロセスで使用されるオゾン添加純水中のオゾンをリアルタイムで計測計測。
ＯＭ−ＵNＤシリーズは、半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をモニターするための紫外線吸光光度方式による液相用計器です。機能においては、それぞれの特長を最大限に発揮できるような構造と、校正が容易に出来るようなシステムを採用しました。 〜特長〜 ●小型軽量 ・指示付変換機はＤＩＮ９６×９６ｍｍ ・検出分離型（保護等級 ＩＰ４４相当） ●リアルタイム測定方式 ・オゾン水を、リアルタイムで直接測定が可能 ・独自のセル構造により圧力損失が少なく、耐圧性に優れ、気泡の影響をうけない構造 ●操作性 ・ゼロ調整・内蔵のチェック板によるスパン調整が可能 ・メンテナンス性の向上を目的としたアタッチメントセルの採用により、補正係数入力のスパン調整が可能 ●出力 ・濃度表示出力 ・４〜２０ｍＡ測定出力 ・ＨＩ・ＬＯ警報出力 ・ランプ劣化オープンコレクタ出力（ランプ表示）
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基本情報
ＯＭ−ＵNＤシリーズは、半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をモニターするための紫外線吸光光度方式による液相用計器です。機能においては、それぞれの特長を最大限に発揮できるような構造と、校正が容易に出来るようなシステムを採用しました。 〜特長〜 ●小型軽量 ・指示付変換機はＤＩＮ９６×９６ｍｍ ・検出分離型（保護等級 ＩＰ４４相当） ●リアルタイム測定方式 ・オゾン水を、リアルタイムで直接測定が可能 ・独自のセル構造により圧力損失が少なく、耐圧性に優れ、気泡の影響をうけない構造 ●操作性 ・ゼロ調整・内蔵のチェック板によるスパン調整が可能 ・メンテナンス性の向上を目的としたアタッチメントセルの採用により、補正係数入力のスパン調整が可能 ●出力 ・濃度表示出力 ・４〜２０ｍＡ測定出力 ・ＨＩ・ＬＯ警報出力 ・ランプ劣化オープンコレクタ出力（ランプ表示）
価格情報
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納期
用途／実績例
オゾン水の濃度計測。
カタログ（1）
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企業情報
弊社は、東北大学大見教授の永年のご指導により開発しました、溶存オゾン計をメインに製造・販売しています。 最先端分野に生かすアイデアをモットーに、今後も、お客様のお役に立てる製品作りを進めてまいりますので、よろしくお願いいたします。
