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洗浄プロセスに使用される石英槽をはじめ、ご要望に合わせた様々な形状に対応いたします
ケニックス株式会社では、半導体プロセスにおいて 必要不可欠な各種石英製品を高度な技術でご提供します。 石英ガラス製のウエハボートは、縦型・横型をはじめ 小口径向けの石英ハンガー、太陽電池向けボートなど 幅広く対応可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【主な加工品】 ■ウエハボート ■洗浄槽 ■プロセスチューブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
実験にかかわる事なら私達に是非ご相談ください。
材料では、金属をはじめにその材料の機械加工、溶接加工も必要となるでしょう。 金属だけではなく、樹脂材料の機械加工、溶接加工も必要になるでしょう。 樹脂材料だけではなく、ガラス加工、溶接加工も必要になるでしょう。 セラミックスを使った加工も時には、必要になるでしょう。 材料でだけでも、おおむね上記のような材料の選定から考えなければなりません。 液体を使うのか？気体を使うのか？温度制御は？流量の制御は？圧力の制御は？どんなセンサーを使ってどこにセットすればよいか？等々決めなければならない事がたくさん出てきます。 実験にかかわる事なら私達に是非ご相談を頂ければ、後は実験方法だけに集中してお仕事が進みます。
実験にかかわる事なら私達に是非ご相談ください。
材料では、金属をはじめにその材料の機械加工、溶接加工も必要となるでしょう。 金属だけではなく、樹脂材料の機械加工、溶接加工も必要になるでしょう。 樹脂材料だけではなく、ガラス加工、溶接加工も必要になるでしょう。 セラミックスを使った加工も時には、必要になるでしょう。 材料でだけでも、おおむね上記のような材料の選定から考えなければなりません。 液体を使うのか？気体を使うのか？温度制御は？流量の制御は？圧力の制御は？どんなセンサーを使ってどこにセットすればよいか？等々決めなければならない事がたくさん出てきます。 実験にかかわる事なら私達に是非ご相談を頂ければ、後は実験方法だけに集中してお仕事が進みます。
多彩な石英ガラス製品を開発・製造！純度が高い合成石英製品の製造ラインを確立
株式会社SCREEN SPE クォーツは『大型石英加工』を承っております。 半導体製造プロセスで使用される炉芯管(アウター、インナー、二重管など)や ボート・キャップなど、300mmウエハーに対応する石英加工品を供給。 また、高純度と優れた耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、 直径1,000mmを超える大型ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・ アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなど、 確かな加工技術と品質管理の下、多彩な石英ガラス製品を開発・製造しています。 【特長】 ■先端設備でさまざまなニーズに対応 ・大小のさまざまなチューブ製品に対応するため自動成形旋盤を導入 ・溶融石英よりもはるかに純度が高い合成石英製品の製造ラインを確立 ■高い技術力と先端の生産設備が生み出す高精度・高耐久の大型チャンバー ・角型または大口径チューブなど、従来は加工が困難だった石英製の 大型容器(BIG CHAMBER)の製造を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
実験にかかわる事なら私達に是非ご相談ください。
材料では、金属をはじめにその材料の機械加工、溶接加工も必要となるでしょう。 金属だけではなく、樹脂材料の機械加工、溶接加工も必要になるでしょう。 樹脂材料だけではなく、ガラス加工、溶接加工も必要になるでしょう。 セラミックスを使った加工も時には、必要になるでしょう。 材料でだけでも、おおむね上記のような材料の選定から考えなければなりません。 液体を使うのか？気体を使うのか？温度制御は？流量の制御は？圧力の制御は？どんなセンサーを使ってどこにセットすればよいか？等々決めなければならない事がたくさん出てきます。 実験にかかわる事なら私達に是非ご相談を頂ければ、後は実験方法だけに集中してお仕事が進みます。
わずかな水流むらも引き起こさない高精度な石英槽を提供し続けています。
株式会社SCREEN SPE クォーツは『石英加工』を承っております。 石英槽のほか、搬送ユニットのロボットチャックやウェハーガイドなど、 繊細なウエハーに直接触れる高精度・高品質な製品を供給。 また、薬液処理槽において薬液を加熱するインラインヒーターなど、 多彩な石英ガラス製品も開発・製造しています。 【特長】 ■ボートやチューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の 開発・製造を積極的に展開 ■図面と全行程の内容をデータ化して長期保存 ■メンテナンスに迅速に対応するとともに、追加オーダーに対しても同精度の 製品を供給 ■データには形成に携わった技術者と検査者の全氏名を記録 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
