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研磨ユニット×フォースウェーブ・パートナーズ株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

研磨ユニットの製品一覧

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3次元形状自動研磨システム『REX03-α』

力覚センサーのダイレクトフィードバック制御で高精度倣い研磨!

『REX03-α』は、力覚センサーで実際のトルクを測定し、それをロボットに ダイレクトフィードバックする「高精度倣い研磨システム」です。 5軸研磨パスは、加工面に対して常に「面直」で加工できるパスを自動生成。 3軸研磨パスは、立型マシニングセンターと同じ研磨パスで研磨が出来ます。 当システムは、数値制御や電流ロードでは実現できない均一な研磨面を 自動化で実現しました。 【運用方法】 ■3次元5軸CADCAMでパスを生成 ■CLデータをエクスポート ■ロボット・プログラムに変換 ■加工スタート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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  • ウエハ加工/研磨装置

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倣いロボット自動研磨システム『REX03』

半導体製造装置部品向けロボット自動研磨装置をご紹介!

『REX03』は、力覚センサーで実際のトルクを測定し、それをロボットに ダイレクトフィードバックする「高精度倣い研磨システム」です。 作業が単調で離職率が高い、作業者によって仕上りがばらつくなど、 半導体製造装置部品メーカーにとって研磨工程はボトルネック。 当システムは、数値制御や電流ロードでは実現できない均一な研磨面を 自動化で実現しました。 【導入効果】 ■ボトルネックの解消 ■均一な品質 ■コストダウン ■従業員定着率の向上 ■短期間(約1.5年)で設備資金の償還 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • ウエハ加工/研磨装置

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