提案事例 マグネトロンスパッタ用磁気回路の短納期製作
様々なご要望にお答えいたします。
半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、太陽電池等のエレクトロニクス製品や光学部品や、装飾品等など、薄膜の製膜に用いられるスパッタなど、真空中でのプラズマの制御に磁場が持ちられます。 磁場の強度、発生位置、磁場方向、磁場勾配など様々なパラメータを管理し所望の効果を得るために、永久磁石が用いられます。 これらの特性を引き出すため、当社の解析、設計、製造、測定がお役に立ちます。
- 企業:株式会社東和製作所
- 価格:応相談