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提案事例 カソードマグネットの修理

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最終更新日:2010年12月27日

株式会社東和製作所
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様々なご要望にお答えいたします。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、太陽電池等のエレクトロニクス製品や光学部品や、装飾品等など、薄膜の製膜に用いられるスパッタなど、真空中でのプラズマの制御に磁場が持ちられます。 磁場の強度、発生位置、磁場方向、磁場勾配など様々なパラメータを管理し所望の効果を得るために、永久磁石が用いられます。 これらの特性を引き出すため、当社の解析、設計、製造、測定がお役に立ちます。

    電磁石磁石
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提案事例 カソードマグネットの修理

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基本情報

【事例】 ○お客様からのご要望…マグネトロンスパッタ用のマグネットの修理をできないか? ○マグネトロンスパッタ用のカソードマグネットをご使用のお客様で不運な事故によりマグネットを破損してしまいました。 マグネットは非常に高価であると共に、製作に長い納期を必要とします。 非常にお困りのお客様に、破損した部分のみの交換とを実施することをご案内いたしました。 通常着磁されているマグネットの集合体である、磁気回路部品は1部マグネットを交換することはできませんが、状況によっては修復可能な場合もありこのケースは、あきらめていたものが実現できたケースでした。 ○このようなケース以外にも様々なご要望にお答えいたします。 ●詳しくはお問い合わせ下さい。

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カソードマグネットの修理

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東和製作所は「永久磁石」が誕生してから約70年間、永久磁石加工を専門に活動をしてきました。 近年ますますその応用分野が広がり、お客様の用途に合わせた様々な磁気特性が求められています。磁気製品の試作から製造委託・改造まで永久磁石・磁気回路【磁石専門】の東和製作所に是非お任せください。

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