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駆動部が無く電源不要！メンテナンスフリーで幅広い露点域や流量域に対応可能
当社が取扱う『ガス分離膜』についてご紹介いたします。 「メンブレンドライヤー」は、駆動部が無く電源不要、メンテナンスフリーの 圧縮除湿装置です。 幅広い露点域（－10～－60℃）や流量域（1～10,000nl/min）に対応可能。 特殊高分子製の中空糸膜が水蒸気を極めて透過しやすく空気を透過しにくい 性質を利用しました。 また、圧縮空気の供給のみで窒素ガスが得られる 「N2ガスモジュール」は、吸着、再生サイクルの切替えが不要で、 騒音、振動、ダストの発生がない製品となっています。 【メンブレンドライヤー 特長】 ■駆動部が無く電源不要 ■メンテナンスフリー ■幅広い露点域や流量域に対応可能 ■水蒸気を極めて透過しやすく空気を透過しにくい性質を利用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オールインワンにより最小限の現地工事が可能！豊富なオプションをご用意
『NDR型』は、ご要望に応じて、カスタマイズが可能なユニットタイプの 逆浸透膜(RO)装置です。 後段のCP負荷になるガス成分が多く含まれる場合でも、オプションの 脱気膜を組み合わせることでランニングコストを軽減。 また、2段ROをリニューアルし、標準化した「NDR-W型」と RO膜とEDI(電気透析槽)を組み合わせた「電気再生式純水装置」も ご用意しております。 【特長】 ■オールインワンにより最小限の現地工事 ■豊富なオプション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、パーティクル低減、装置稼働時間が大幅アップし、生産性向上！
イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足が問題となっている昨今、歩留まり向上と装置稼働時間のアップは半導体製造業者にとって至上命題といえます。最先端の製造ラインに導入された、イオンアシスト蒸着法による保護膜は、ドライエッチング装置部品の保護膜として、また、定期的メンテナンスにおける再生としてご利用いただけます。
