その他製造
つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

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つばさ真空理研の企業情報
独自真空蒸着技術による原子レベルで超緻密かつ厚膜な高融点金属酸化膜の成膜開発・受託成膜を行うベンチャー企業です。
つばさ真空理研株式会社は、長年の半導体業界における経験を活かし、 半導体製造装置部品の保護膜関連の顧問会社として2019年に創業しました。 2021年、これまで蓄積したノウハウを具現化し導入を加速化するべく、 日本で使用される製造装置については耐食性保護膜も供給する 「受託コーティングベンチャー企業」として生まれ変わりました。 高融点金属酸化膜を級密な膜として捉えると、半導体以外にも多くの 応用が広がってきます。 当社は、ニッチ産業の頂点を目指すことで多くの産業に貢献し、 しいては未来の持続的な発展に尽くしてまいります。

事業内容
■イオンアシスト真空蒸着技術を駆使した成膜材料・成膜技術開発 ・酸化イットリウム膜 ・酸フッ化イットリウム膜 ■エッチング装置部品の耐プラズマ性保護膜の受託成膜サービス ■エッチング装置部品の耐プラズマ性保護膜の再生受託成膜サービス <横浜ラボラトリー> 〒231-0812 神奈川県横浜市中区錦町12 三菱重工横浜製作所 本牧第二工場104 (YOKOHAMA HARDTECH HUB内)
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詳細情報
企業名 | つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー |
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連絡先 | 〒231-0815 神奈川県横浜市中区錦町12三菱重工横浜製作所本牧第二工場104 YOKOHAMA HARDTECH HUB地図で見る TEL:045-900-0354 FAX:0466-53-8728 |
業種 | その他製造 |
