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E-100の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えてます
当社では、E-100の特徴を変えずにに自動排気制御の機能を省きコストを抑える 『有機デバイス蒸着装置 E-100J』を設計・製造・販売しております。 ※「有機デバイス研究用蒸着装置」として高い評価を頂いております。 【特徴】 ○「E-100」の機能を生かした下位モデル ○「E-100」の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えている ○ターボ排気ポンプを備えた高真空排気チャンバーに蒸発8源を放射上に配置 ○電源を増設すれば多元同時蒸着が可能 ○チャンバーの両横にはJIS150フランジを設置 ○グローブボックスへの接続や株式会社エイエルエステクノロジー社製 （E-100)と接続してマルチチャンバー蒸着が可能 ○チャンバー下部には取り外し可能な大口径フランジを装備
真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！
当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた 『有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能 ○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ） ○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート ○真空排気ポート（NW40）1ポート ○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源：2源（同時2源） ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポンプ：ターボポンプ
マルチチャンバー化に対応可能！有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機
『E-70シリーズ』は、有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機です。 他のシリーズ機と接続できるためマルチチャンバー化も可能。 将来的にはグローブボックスの接続なども行えます。 【特長】 ■有機デバイス研究を目的 ■小型の機種 ■他シリーズの蒸着装置と接続が可能 ■将来的にはグローブボックス接続が可能 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
