蒸着装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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蒸着装置×ケニックス株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

蒸着装置の製品一覧

1~5 件を表示 / 全 5 件

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3源抵抗加熱蒸着装置

EB源増設ポート付!4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています!

当製品は、金属材料を対象とした3源切り替え式抵抗加熱蒸着装置です。 角型チャンバーにより、メンテナンス性が向上。 4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています。 【特長】 ■基板寸法:100×100 ■基板加熱温度:常用600℃ ■基板回転ホルダー ■水晶式膜厚計 ■EB源増設ポート付 ■抵抗加熱源:100A 3源切替式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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斜入射型蒸着装置

基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能!蒸着ポジションを調整できます

当製品は、アタッチメントフリーのKセルおよびコニカル型蒸着源を 備えた基板入射角可変型蒸着装置です。 任意の基板入射に対応する円弧型レール上に、任意位置で固定可能。 蒸着ポジションを調整することができます。 【Kセル】 ■ルツボ容量:2cc ■加熱温度:Max1,200℃ ■加熱制御電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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グローブボックス内収納型真空蒸着装置

グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を交換・補充可能です!

当社が取り扱う『グローブボックス内収納型真空蒸着装置』をご紹介します。 50×50基板を蒸着可能な小型蒸着ベルジャーを、グローブボックス内に収納。 グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を 交換・補充することができます。 【特長】 ■50×50基板を蒸着可能 ■小型蒸着ベルジャーをグローブボックス内に収納 ■グローブボックス内でベルジャーを着脱し、  基板や蒸着材料を交換・補充できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 蒸着装置

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3連式電子ビーム蒸着装置

メンテナンス性・作業性が簡便!リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用!

当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しております。 【特長】 ■基板寸法:最大φ3インチ ■基板加熱温度:常用600℃ ■リフトオフ成膜機構:特殊遮熱機構採用 ■電子ビームガン:ハース3連手動スライド移動式 ■EBガンメンテ機構:EBガンスライド移動機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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グローブボックス連結型有機・金属蒸着装置

基板回転・基板加熱対応のホルダーを搭載!大気解放することなく連続成膜可能!

当製品は、100×100基板に対応した有機・金属蒸着装置です。 マスク交換用にグローブボックスを連結しており、大気解放することなく 連続成膜することが可能。 蒸着源は、抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源Kセルを 複数備えた大型蒸着チャンバーです。 【特長】 ■100×100基板に対応 ■マスク交換用にグローブボックスを連結 ■抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源Kセルを複数備えている ■基板回転・基板加熱対応のホルダーを搭載 ■膜厚分布に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 蒸着装置

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