【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ X軸
移動テーブルの中央に開口部(透過穴)を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と組み合わせ、微細観察や高精度マッピング測定に適しています
超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。 ストローク30μmと100μmをご用意しております。 レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■高速、高精度スキャニング動作 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。 微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 ■使いやすいインターフェース 制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能。 特殊環境(真空・非磁性など)のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:THKプレシジョン株式会社
- 価格:応相談