超純水帯電防止器 MEGCON キャビネットタイプ
超純水の比抵抗を自動制御し、精密洗浄における静電気障害を解決
MEGCONは膜を介し炭酸ガスを超純水に溶解させ、比抵抗を調整した機能水を作り出すことで、静電気発生を抑制。 ⇒下記のような製品不良を抑制 ・回路破壊 (=静電破壊) ・被洗浄物の表面荷電、微粒子の再付着 ■特長 1.自動かつ豊富な制御方法 ・流量変動時の自動比抵抗制御により、複数台のダイサー・洗浄機に接続可能。 ・ダイサー・洗浄機までの距離に準じて3種類の制御方法を選択可能。 2.効率的なガス供給 ・流量に応じたガス量制御でガス消費量を最小化。 (0.5MΩ・cm、9L/minの条件下でガス消費1.62g/ h) ・外部供給、内部ボンベのどちらでも対応可能 ・膜方式でのガス溶解によって、微粒子混入リスク最小化 3.豊富なラインナップ ・大流量タイプ(～8,000L/h)、小流量タイプ(30L/h～)をラインナップ ・欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインアップ 4.外部還流式中空糸膜の使用により超純水圧力損失を最小化
- 企業：NGKフィルテック株式会社
- 価格：応相談
