超純水の比抵抗を自動制御し、精密洗浄における静電気障害を解決
MEGCONは膜を介し炭酸ガスを超純水に溶解させ、比抵抗を調整した機能水を作り出すことで、静電気発生を抑制。 ⇒下記のような製品不良を抑制 ・回路破壊 (=静電破壊) ・被洗浄物の表面荷電、微粒子の再付着 ■特長 1.自動かつ豊富な制御方法 ・流量変動時の自動比抵抗制御により、複数台のダイサー・洗浄機に接続可能。 ・ダイサー・洗浄機までの距離に準じて3種類の制御方法を選択可能。 2.効率的なガス供給 ・流量に応じたガス量制御でガス消費量を最小化。 (0.5MΩ・cm、9L/minの条件下でガス消費1.62g/ h) ・外部供給、内部ボンベのどちらでも対応可能 ・膜方式でのガス溶解によって、微粒子混入リスク最小化 3.豊富なラインナップ ・大流量タイプ(～8,000L/h)、小流量タイプ(30L/h～)をラインナップ ・欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインアップ 4.外部還流式中空糸膜の使用により超純水圧力損失を最小化
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基本情報
■接液部 ・セル (炭酸ガス導入部) :PP ・配管：ブレードホース(PVC) ・導電率センサー:Ti,PVC ■ユーティリティ ・超純水 圧力:常用0.35MPa以下 (最大0.45MPa) /温度：5～35℃/水質:10MΩ・cm以上 ・CO2ガス 圧力:0.1～0.2MPa/温度：5～35℃/純度：99.5%以上 ・電源 AC100-240V (50/60Hz) ・クリーンエアー (膜乾燥用) PRCシリーズ エアーポンプ内蔵のため不要 FRCシリーズ 0.1～0.2MPa/温度5～35℃/ミストレス・パーティクルレス ■標準付属品 ・取扱説明書 ・検査成績書 ・電源コード ■オプション 下記以外にも多数選択可。 ・レベラー付きキャスター＋ 2色灯(ブザー付) ・CO2圧力スイッチ（圧力低下検知用） ・CO2低下警報機能 ・CO2ボンベ自動切替機能 ・漏水センサー ・PFA/塩ビ配管 ・SECS I/F ・外部エアー供給 ・純水用逆止弁
用途／実績例
■用途 ・ダイシング工程における洗浄 ・高圧ジェット洗浄 ・スクラバー洗浄 ・液晶パネルの洗浄 ・フォトマスクおよびレクチルの洗浄 など ■実績 ・OSAT ・洗浄機メーカー ・露光装置メーカー ※合計約7,000件の販売実績あり。
詳細情報
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セル構造
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3種類の制御方法
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大流量タイプ使用時の比抵抗値変動
ラインアップ（5）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 1000ACD | 最大流量：1,000L/h、制御域：0.2~2.0MΩ・cm、寸法：520W×400D×1,150H mm、重量：65kg、超純水 接続口径：Rc1/2 |
| 1200ACD | 最大流量：1,000L/h、制御域：0.1~0.5MΩ・cm、寸法：520W×400D×1,150H mm、重量：65kg、超純水 接続口径：Rc1/2 |
| 2000ACD | 最大流量：2,000L/h、制御域：0.2~2.0MΩ・cm、寸法：520W×400D×1,150H mm、重量：65kg、超純水 接続口径：Rc3/4 |
| 1220ACD | 最大流量：2,000L/h、制御域：0.15~1.0MΩ・cm、寸法：520W×400D×1,150H mm、重量：65kg、超純水 接続口径：Rc3/4 |
| 2040ACD | 最大流量：4,000L/h、制御域：0.2~2.0MΩ・cm、寸法：520W×400D×1,150H mm、重量：70kg、超純水 接続口径：Rc1 1/4 |
企業情報
当社では、長年にわたり培ってきた高度なメンブレンテクノロジー（膜技術）を ベースにして、医薬用水システム・超純水製造システム・メンブレンプロセス システムおよびそのアプリケーション装置を設計・製造しています。 製品開発や高品質化、合理化、省エネルギー、省資源、環境保全などユーザーの ニーズに応えます。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。